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中图分类法:
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TH161 版次： |
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著者:
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Johnstone, Robert W. |
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题名:
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An Introduction to surface-micromachining / / , |
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其它题名:
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Surface-micromachining |
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出版发行:
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出版地： Boston : 出版社： Kluwer Academic Publishers, 出版日期： 2004. |
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载体形态:
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x, 186 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Micromachining. |
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主要责任者:
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Parameswaran, M. |