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题名:
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微光机电系统 / (日) 泽田廉士, 羽根一博, 日暮荣治著 , 李元燮译 |
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ISBN:
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7-03-013313-7 价格： CNY38.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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347页 图 24cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2005 |
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内容提要:
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本书共由三部分构成。第一部分重点介绍了微光机电系统在各领域中的应用, 即光开关、反射镜陈列、衰减器、显示器、扫描仪等。第二部分是微光机电系统光学, 主要介绍了微光机电系统中应用的光学原理, 即光反射、折射、衍射, 干涉, 光辐射压等。第三部分主要介绍了材料、加工、封装等。 |
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主题词:
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光电子技术 机电一体化 |
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主题词:
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微电子技术 机电一体化 |
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中图分类法:
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TN2 版次： 4 |
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主要责任者:
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泽田廉士 著 |
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主要责任者:
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羽根一博 著 |
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主要责任者:
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日暮荣治 著 |
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次要责任者:
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李元燮 译 |