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题名:
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微机电系统设计与制造 / 莫锦秋[等] 编著 , |
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ISBN:
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7-5025-5237-5 价格： CNY30.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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177页 图 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2004 |
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内容提要:
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本书主要从普及的角度介绍了微机电系统及相关技术, 对微机电系统的定义、起源及研究现状、制造技术、系统构成、设计技术进行了深入浅出的介绍。 |
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主题词:
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微电机 |
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中图分类法:
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TM38 版次： 4 |
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主要责任者:
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莫锦秋 编著 |