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题名:
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微纳加工中的精密工件台技术
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刘俊标, 薛虹, 顾文琪著
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ISBN:
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7-5639-1432-3
价格：
CNY45.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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278页
图, 肖像
26cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
北京工业大学出版社
出版日期：
2004
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内容提要:
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本书重点讲述微纳加工中的关键部件——精密工件台的结构、原理和主要技术, 以及通过精密工件台提高加工精度和生产效率的有效方法。全书分为九章。
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主题词:
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超大规模集成电路
集成电路工艺
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中图分类法:
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TN470.598
版次：
4
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主要责任者:
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刘俊标
著
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主要责任者:
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薛虹
著
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主要责任者:
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顾文琪
著
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