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题名:
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微系统技术 / (德)W. Menz, (德)J. Mohr, (德)O. Paul[著] , 王春海[等] 译 |
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ISBN:
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7-5025-4692-8 价格： CNY38.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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468页 图 20cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 化学工业出版社 出版日期： 2003 |
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内容提要:
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共分10章, 前4章介绍微系统技术的基础知识, 5到10章介绍微系统技术的基本工艺方法。 |
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主题词:
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微电子技术 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 4 |
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主要责任者:
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Menz 著 |
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主要责任者:
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Mohr 著 |
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主要责任者:
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Paul 著 |
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主要责任者:
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门兹 著 |
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次要责任者:
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王春海 译 |