中图分类法:	TP212 版次：
著者:	Gardner, J. W.
题名:	Microsensors, MEMS, and smart devices / / ,
其它题名:	微传感器，微机电系统和灵巧器件
出版发行:	出版地： Beijing : 出版社： Tsinghua University Press, 出版日期： 2004.
载体形态:	xvi, 503 p. : ill. ; 23 cm.
附注:	Parallel title in Chinese from cover: 传感器，微机电系统和灵巧器件
主题词:	Microelectromechanical systems.
主题词:	Detectors.
主题词:	Intelligent control systems.
主要责任者:	Varadan, V. K.,
主要责任者:	Awadelkarim, Osama O.