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题名:
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微机械与微细加工技术 / 苑伟政，马炳和编著 , |
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ISBN:
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7-5612-1274-7 价格： CNY22.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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243页 图 21cm |
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出版发行:
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出版地： 西安 出版社： 西北工业大学出版社 出版日期： 2000.8 |
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内容提要:
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本书内容包括微机械理论基础、微机械材料与微结构、微细加工技术、准分子激光微细加工技术、微检测技术等。 |
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主题词:
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微电子技术 应用 |
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主题词:
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微电子技术 |
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主题词:
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机械加工 |
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中图分类法:
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TH-39 版次： 4 |
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主要责任者:
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苑伟政 编著 |
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主要责任者:
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马炳和 编著 |
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附注:
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西北工业大学出版基金资助出版 |
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责任者附注:
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苑伟政(1961-)，博士研究生导师，西北工业大学现代制造工程研究所所长。合著有《微机械与微细加工技术》。 |
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责任者附注:
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马炳和(1972-)，河北省辛集市人，博士，西北工业大学讲师。合著有《微机械与微细加工技术》。 |