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题名:
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微机电系统技术
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石庚辰编著
,
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ISBN:
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7-118-02560-7
价格：
CNY18.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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ⅩⅫ,217页
图
21cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
国防工业出版社
出版日期：
2002
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内容提要:
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全书共分8章，第一章对微机电系统技术的基本问题进行了概要的介绍，第二章到第四章为微机电系统常用材料和加工技术，第五章与第六章分别介绍了微机电系统的基本设计技术等内容。
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主题词:
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机电一体化,微型
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中图分类法:
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TH-39
版次：
4
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主要责任者:
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石庚辰
编著
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附注:
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本书由国防科技图书出版基金资助出版。
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