中图分类法:
O53-53 版次：
著者:
4eme Colloque International Surles Plasm
题名:
4eme Colloque International Surles Plasmas et la Pulverisation Cathodique [ C. I. P. 82, I. U. T. Nice, 1982 /] / ,
出版发行:
出版地： : 出版社： Societe Francaise du Vide, 出版日期： 1982
载体形态:
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