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题名:
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微机械电子系统及其应用 / 刘广玉等编著 , |
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ISBN:
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7-81077-183-3 价格： CNY16.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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192页 图 23cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 北京航空航天大学出版社 出版日期： 2003.02 |
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内容提要:
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本书综合当前公开发表的大量有关微机电系统(MEMS)的科技文献和我们近几年研究工作的成果，主要介绍当今微机电系统的内容、应用及其发展。内容包括微机电系统的组成和应用、微机电系统功能材料、微机械制造技术、微机械执行器、微机械传感器及微机械弱信号检测与处理6部分。 |
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主题词:
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微机 机电系统 |
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中图分类法:
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TP271-43 版次： 4 |
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主要责任者:
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刘广玉 编著 |
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附注:
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高等学校通用教材 |