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题名:
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微传感器与微执行器全书 / (美)格雷戈里 T. A. 科瓦奇[Gregory T. A. Kovacs] 著 , 张文栋等译 |
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ISBN:
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7-03-010565-6 价格： CNY78.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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29,673页 25cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 科学出版社 出版日期： 2003.3 |
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内容提要:
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本书共分九章，涉及了MEMS技术的所有研究领域，畅述了各个领域中MEMS相关的基本原理，并在此基础上对典型器件和系统的设计与工艺进行了详细的介绍。 |
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主题词:
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微型 传感器 |
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主题词:
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微型 执行器 |
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主题词:
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微型 |
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主题词:
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传感器 |
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主题词:
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执行器 |
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中图分类法:
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TP212 版次： 4 |
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中图分类法:
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TH86 版次： 4 |
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主要责任者:
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科瓦奇 著 |
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主要责任者:
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Kovacs 著 |
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次要责任者:
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张文栋 译 |
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责任者附注:
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格雷戈里 T. A. 科瓦奇[Gregory T. A. Kovacs] ，毕业于美国斯坦福大学并获得电子工程学博士学位和医学博士学位。现为斯坦福大学工程系教授。著有《微传感器与微执行器全书》等。 |