题名:
微细加工技术   / 该刊编委会 ,
语种:
chi
载体形态:
26cm
出版发行:
出版地: 长沙 出版社: 该刊编辑部 出版日期: 1983?
中图分类法:
TN4 版次: 3
主要责任者:
孙洪涛 主编
ISSN:
价格: 年价¥20.00(1996)
附注:
根据1983, no.2 著录 
内容附注:
论文及研制报告  译文  综述 
主要团体责任者:
机械电子工业部长沙半导体工艺设备研究所 主办
索书号:
22