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中图分类法:
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TN405 版次： |
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中图分类法:
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TN302 版次： |
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著者:
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Campbell, Stephen A., |
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题名:
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The science and engineering of microelectronic fabrication = [ 微电子制造科学原理与工程技术 /] / , |
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其它题名:
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微电子制造科学原理与工程技术 |
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版次:
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2nd ed. |
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出版发行:
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出版地： Beijing : 出版社： Publishing House of Electronics Industry, 出版日期： 2003. |
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载体形态:
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14, 603 p. : ill. ; 24 cm. |
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主题词:
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Semiconductors Design and construction. |