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中图分类法:
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TN47 版次： |
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著者:
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Plummer, James D. |
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题名:
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Silicon VLSI technology : [ fundamentals, practice and modeling = 硅超大规模集成电路工艺技术 : 理论、实践与模型 /] / , |
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其它题名:
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硅超大规模集成电路工艺技术 : |
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出版发行:
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出版地： Beijing : 出版社： Pub. House of Electronics Industry ; 出版日期： 2003. |
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载体形态:
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18, 817 p. : ill. ; 23 cm. |
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主题词:
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Integrated circuits Very large scale integration |
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主题词:
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Silicon. |
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主题词:
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Silicon oxide films. |
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主题词:
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Metal oxide semiconductors. |
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主题词:
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Silicon-on-insulator technology. |
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主要责任者:
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Deal, Michael D. |
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主要责任者:
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Griffin, Peter B. |