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题名:
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微小世界 / 吴德馨，王守武主编 , |
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ISBN:
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7-5357-2137-0 价格： ￥16.00 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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243页 肖像 20cm |
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出版发行:
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出版地： 长沙 出版社： 湖南科学技术出版社 出版日期： 1998 |
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内容提要:
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本书主要内容包括：深亚微米与纳米结构的形成方法及工艺技术；特大规模集成电路(ULSI)、极大规模集成电路(GLSI)、以及特高速集成电路(UHSI)中的深亚微米与纳米器件结构和物理研究等。 |
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主题词:
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微电子技术-电子器件 |
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主题词:
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电子器件-微电子技术 |
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主题词:
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量子电子学 |
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中图分类法:
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TN4 版次： 3 |
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中图分类法:
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TN201 版次： 3 |
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其它题名:
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深亚微米结构器件和介观物理 |
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主要责任者:
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吴德馨 主编 |
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主要责任者:
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王守武 主编 |
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附注:
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国家科委基础研究高技术司组织 |
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索书号:
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3 |