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题名:
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Patterning of material layers in submicron region / U.S. Tandon,W.S. Khokle , |
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ISBN:
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0-470-22063-5 价格： present |
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语种:
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eng |
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载体形态:
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183 P. 26cm |
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出版发行:
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出版地： N.Y. 出版社： John wiley and sons 出版日期： 1993 |
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中图分类法:
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TN305.6 版次： 3 |
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主要责任者:
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Tandon |
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主要责任者:
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Khokle |
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索书号:
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2 |