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题名:
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微机电系统
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梅涛, 伍小平主编
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ISBN:
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7-5025-4320-1
价格：
CNY15.00
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语种:
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chi
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载体形态:
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197页
图
20cm
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出版发行:
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出版地：
北京
出版社：
化学工业出版社
出版日期：
2003
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内容提要:
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本书共分7章，分别介绍了微机械加工技术、微机电系统的力学问题、微传感器、微执行器等。
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主题词:
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机电系统
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主题词:
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微电机
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中图分类法:
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TM38-39
版次：
4
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主要责任者:
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梅涛
主编
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主要责任者:
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伍小平
主编
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附注:
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国家科普知识重点图书
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索书号:
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5
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