题名:
等离子体与成膜基础   / (日)小沼光晴著 , 张光华编译
ISBN:
7-118-01141-X 价格: $11.40
语种:
chi
载体形态:
238页 19cm
出版发行:
出版地: 北京 出版社: 国防工业出版社 出版日期: 1994.6
内容提要:
分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。 
主题词:
等离子体物理学∶薄膜物理学  
主题词:
薄膜物理学∶等离子体物理学  
中图分类法:
O53 版次: 三版
中图分类法:
O484 版次: 三版
主要责任者:
小沼光晴
次要责任者:
张光华 编译
补充题名:
成膜 
科图分类法:
53.815 版次: