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题名:
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等离子体与成膜基础 / (日)小沼光晴著 , 张光华编译 |
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ISBN:
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7-118-01141-X 价格： $11.40 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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238页 19cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 1994.6 |
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内容提要:
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分:等离子体的概念和状态、低温等离子体与成膜、非晶硅薄膜的高速沉积等9章。 |
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主题词:
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等离子体物理学∶薄膜物理学 |
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主题词:
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薄膜物理学∶等离子体物理学 |
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中图分类法:
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O53 版次： 三版 |
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中图分类法:
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O484 版次： 三版 |
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主要责任者:
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小沼光晴 著 |
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次要责任者:
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张光华 编译 |
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补充题名:
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成膜 |
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科图分类法:
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53.815 版次： |