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题名:
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微电子生产工艺实用手册 / 王家源,刘长恩主编 , |
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ISBN:
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7-5053-1527-7 价格： $10.50 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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437页 20cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 1992.6 |
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内容提要:
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本书共收入了微电子产品制造技术、生产工艺、生产装置、成套设备、检测仪器、原辅材料、辅助设施、工具及零部件等方面的词条900余条,并附汉-英和英-汉词条索引。 |
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主题词:
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微电子技术-生产工艺 手册 |
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中图分类法:
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TN405-62 版次： 三版 |
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主要责任者:
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王家源 主编 |
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主要责任者:
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刘长恩 主编 |
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补充题名:
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微电子 |
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科图分类法:
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73.75073 版次： |