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题名:
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抗蚀剂及其微细加工技术 / 顾振军,孙 猛主编 , |
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ISBN:
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7-313-00617-9 价格： $6.50 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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236页 26厘米 |
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出版发行:
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出版地： 上海 出版社： 上海交通大学出版社 出版日期： 1989.3 |
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内容提要:
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本书以作为微电子器制造时的核心的抗蚀剂及其微细加工技术为对象,就其定义、沿革、工艺、反应理论、配套技术、各类抗蚀剂、分析测试及应用、展望等进行了全面详述。 |
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主题词:
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集成电路-耐蚀材料 |
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主题词:
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耐蚀材料-集成电路 |
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主题词:
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集成电路工艺 |
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中图分类法:
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TQ047.6 版次： |
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主要责任者:
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顾振军 主编 |
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主要责任者:
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孙猛 主编 |
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补充题名:
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抗蚀剂 微细 加工 技术 |
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科图分类法:
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81.2 版次： |