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题名:
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等离子体诊断 / (美)奥切洛(Auciello,Orlando),(美)弗拉姆(Flamm,Daniel L.)编著 , 郑少白等译 |
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ISBN:
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7-5053-2174-9 价格： $25 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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468页 20cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 电子工业出版社 出版日期： 1994.3 |
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内容提要:
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本卷着重于等离子体工艺中的各种诊断技术介绍,包括:放电光源中的等离子诊断、等离子体质谱学、微波诊断等7章。 |
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主题词:
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等离子体诊断 |
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中图分类法:
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O536 版次： 三版 |
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主要责任者:
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奥切洛 编著 |
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主要责任者:
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Auciello 编著 |
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主要责任者:
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弗拉姆 著 |
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主要责任者:
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Flamm 编著 |
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次要责任者:
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郑少白 译 |
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附注:
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著者原题无汉译名 |
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补充题名:
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等离子体 诊断 放电 参量 化学 |
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科图分类法:
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53.8159 版次： |