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题名:
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准分子激光微细加工技术 / 张玉书,张庆有著 , |
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ISBN:
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7-5601-0619-6 价格： $2.10 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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276页 20厘米 |
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出版发行:
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出版地： 长春 出版社： 吉林大学出版社 出版日期： 1990.10 |
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内容提要:
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本书微细加工技术是随着LSI和VLSI的不断发展而产生的新技术领域,对准分子激光微细加工技术基础、应用实例及前景展望等作了介绍。 |
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主题词:
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激光光学加工技术 |
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中图分类法:
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TG665 版次： |
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主要责任者:
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张玉书 著 |
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主要责任者:
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张庆有 著 |
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补充题名:
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准分子 激光 微细 加工 技术 |
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科图分类法:
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77.9784 版次： |