题名:
微细加工技术
/ 蒋欣荣编著 ,
ISBN:
7-5053-0861-0 价格： $3.35
语种:
chi
载体形态:
405页 20厘米
出版发行:
出版地： 北京 出版社：
电子工业出版社
出版日期： 1990.6
内容提要:
本书介绍了利用电子束、离子束、光子束、原子束、等离子体、超声等手段,对不同材料进行各种光刻、刻蚀、制膜、掺杂、退火和材料改性及切削、焊接、打孔等微细加工的原理、方法和工艺过程等。
主题词:
特种加工
高等学校
中图分类法:
TG66 版次：
主要责任者:
蒋欣荣
编著
附注:
高等学校教材
补充题名:
微细 加工 技术
科图分类法:
77.978 版次：