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题名:
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电子工业生产技术手册 / 《电子工业生产技术手册》编委会编 , |
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ISBN:
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7-118-00496-0 价格： $55.10 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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1022页 26cm |
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出版发行:
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出版地： 北京 出版社： 国防工业出版社 出版日期： 1992.5 |
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内容提要:
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本书共16章。阐述了化合物半导体器件及集成电路的清洗与腐蚀、外延、离子注入通用工艺,同时介绍了包括微波及毫米波二端器件、场效应器件的设计与制造与可靠性,及新器件和集成技术。 |
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主题词:
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电子工业 生产 |
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主题词:
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半导体器件 生产 |
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主题词:
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集成电路 生产 |
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中图分类法:
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TN-62 版次： 三版 |
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补充题名:
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电子工业 半导体 集成电路 |
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科图分类法:
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73.073 版次： |
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主要团体责任者:
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本书编委会 编 |