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题名:
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等离子体化学与工艺 / 赵化侨编著 , |
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ISBN:
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7-312-00392-3 价格： $6.70 |
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语种:
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chi |
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载体形态:
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315页 20cm |
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出版发行:
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出版地： 合肥 出版社： 中国科学技术大学出版社 出版日期： 1993.2 |
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内容提要:
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阐述了等离子体化学的基本理论和和应用技术,包括:等离子体的发生、辉光放电过程的应用与解析、溅射制膜等8章。 |
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主题词:
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等离子体化学 |
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中图分类法:
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O646.9 版次： 三版 |
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主要责任者:
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赵化侨 编著 |
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附注:
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英文题名:Plasma chemistry and processing |
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责任者附注:
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赵化侨,中国科学技术大学任教 |
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补充题名:
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等离子体 化学 工艺 |
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科图分类法:
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54.24 版次： |